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通过CVD的方法,我们合成了高度绝缘的BOS薄膜样品,电阻值高达12 TΩ,相应FET器件的开关比为108,阈值电压区间范围为4~14 V,明显区别于文献中的负值,表明了我们的样品可以用作于实际的功能器件。相应文献发表在Nano Research 上,https://doi.org/10.1007/s12274-022-5046-3。